AFM (Atomic Force Microscope): 원자 힘 현미경

■ 기기 사양

Scan range of XY-scanner: 100 μm

Working distance of Z-scanner: 25 μm

Focus range: 20 mm

Optical resolution: 1 μm

Drive modes: contact, true non-contact

Image modes: topography, deflection / amplitude, extension, phase, lateral force

■ 기기 원리

시료 표면에 미세한 탐침 (probe)을 원자 크기까지 근접시키면 원자 간의 양자적 힘이 작용한다. 탐침을 캔틸레버 (Cantilever)의 끝에 고정하고, 캔틸레버 중간부에 작은 도전체 바늘을 달아 터널 전류를 측정하거나 반사광의 편향을 검출한다. 이를 통해 원자 간의 반데르발스 힘을 측정하여 표면 원자 구조의 이미지를 얻을 수 있다.

■ 기기 용도

표면 형상 이미지 및 전기적 특성 측정

활용 가능 분야

- Biological science

- Materials science

- Data storage

- Semiconductor