XPS (X-ray Photoelectron Spectrometer): X선 광전자분광기

■ 기기 사양

Analyzer type: 180° double-focusing hemispherical analyzer, 128-channel detector

X-ray source type: Monochromated, micro-focused, low-power Al K-Alpha X-ray source

X-ray spot size: 50–400 µm (adjustable in 5 µm steps)

Depth profiling: EX06 ion source

Maximum Sample area: 60x60 mm

Maximum sample thickness: 20 mm

Vacuum system: Two turbo molecular pumps, with automated titanium sublimation pump and backing pump

Optional accessories: ADXPS sample holder, work function sample holder, glove box

■ 기기 원리 및 용도

XPS 스펙트럼은 X-선을 고체 표면에 방사하여 물질의 상부 1~10nm에서 방출되는 전자의 운동 에너지를 측정하여 얻어진다. 다양한 값의 운동 에너지로 방출되는 전자를 검출하여 광전자 스펙트럼을 기록한다. 광전자 피크의 에너지 및 강도로 수소를 제외한 모든 표면 원소를 식별하고 정량할 수 있다.