FE-SEM (Field Emission-Scanning Electron Microscope): 전계방출형 주사전자현미경

Cold type field emission gun

Semi-in-lens type objective lens

SE resolution

- 1.0nm @ 15kV

- 1.3nm @ 1kV

Dual SE detector (Upper / Lower)

Stage movement

- X / Y: 0 to 50mm

- Z: 1.5 to 30mm

- T: -5° to +70°

- R: 360°

Max. specimen size: 100mm⊙ (At air-locking method)

Magnification (On photo / On display)

- Low mag mode: x20 to 2,000 / x60 to x25,000

- High mag mode: x100 to x 800,000 / x300 to x 2,000,000

전자빔을 시료 표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전자 (SE) 혹은 후방 산란전자 (BSE)를 이용하여 시료의 표면을 관찰

나노 구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징

무기물 시료 (금속, 반도체, 절연체, 미세입자 등) 및 유기물 시료 (건조된 생체조직, 목재, 식물 등)의 표면구조 관찰

박막, 다층막 등의 단면관측을 통한 두께 결정과 구조 관찰

고해상도를 요구하는 재료의 상 관찰, 화학조성 분석

EDX (Element distribution on the sample surface): 고체 시료를 구성하는 원소의 정성 및 정량분석과 조성에 따른 표면 mapping 가능

나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상 관찰

사용신청 시 시료 종류, 실험조건 표기

사용 일주일 전 예약 필수

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